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技術文章
更新時間：2026-07-29
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分子泵（渦輪分子泵）能獲得 10??–10?? Pa 的高真空，但它不能直接在大氣下啟動，必須配一臺 前級泵（機械泵/干泵） 先把腔體抽到分子泵啟動壓力（通常 ≤ 1–10 Pa）以下。分子泵 + 前級泵 = 分子泵組。
| 分子泵抽速 | 建議前級泵抽速 |
|---|---|
| ≤ 300 L/s | 4–8 m3/h 機械泵 |
| 300–1000 L/s | 8–15 m3/h |
| > 1000 L/s | 15 m3/h 以上或干泵 |
原則：前級泵抽速 ≥ 分子泵最大排氣量的 1/10，避免前級壓力過高導致分子泵失效。
達到目標真空的時間 t ≈ 腔體容積 V ÷ 有效抽速 S。選泵時讓 有效抽速 S ≥ V / 目標時間。例如 10 L 腔體想 10 分鐘抽到 10?3 Pa，需 S ≈ 100 L/s 量級（再留余量）。
ISO-KF：小口徑快接，常用于前級管路（≤50 mm）；
ISO-K：大口徑法蘭，高真空側主流；
CF（ConFlat）：金屬密封，超高真空（≤10?? Pa）優先選擇。
真空探針臺：分子泵組 + 腔體，維持高真空表征環境；
真空封管機：前級泵 + 分子泵保障封管真空度；
鍍膜/退火：大抽速泵組配合腔體。
A：分子泵不能在大氣下啟動，需前級泵先把腔體抽到其啟動壓力（≤1–10 Pa）以下，再由分子泵繼續抽到高真空，兩者組成泵組。
A：按腔體容積 V 與目標抽氣時間 t 估算：有效抽速 S ≥ V/t；再疊加管路流導損失留余量。例：10 L 腔體 10 分鐘到 10?3 Pa 需約 100 L/s 量級。
A：前級側常用 ISO-KF 快接；高真空側用 ISO-K 法蘭；超高真空（≤10?? Pa）用 CF 金屬密封法蘭。
A：不能。必須在前級泵將壓力降到啟動閾值以下后才能啟動，否則會損壞轉子；部分機型帶"大氣啟動"保護但仍有壓力限制。
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