在半導體制造、精密化工、真空鍍膜等高要求工業場景中，氣體流量的精確控制是工藝穩定性的核心保障。華丞電子（Beijing AURASKY Electronics）推出的 CS200A 系列氣體質量流量控制器（MFC），以高準確度、強可靠性和開放通訊協議，成為精密流量控制領域的優選方案。

產品概述

CS200A/B/C/D 型 MFC/MFM 是華丞電子采用先進數字技術研發的氣體質量流量控制與測量產品，在半導體集成電路工藝、特種材料、化工、石油、醫藥、環保及真空等多領域均有重要應用。

典型應用場合包括：微電子工藝設備（擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入）、鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣及各類分析儀器。

核心技術參數

多樣化通訊與信號支持

CS200A 系列產品兼容數字與模擬雙控制方式，滿足不同系統集成需求：

• 數字通訊協議：RS485、EtherCAT、ProfiBus、DeviceNet

• 模擬信號：0～5V 電壓控制 / 4～20mA 電流控制 / 0～20mA 電流控制

• 流量檢測信號數字與模擬同時輸出，互不干擾

• 標配免費上位機軟件 Digital MFC，方便用戶自行開發控制與采集系統

先進功能亮點

多氣體多量程

用戶可根據實際工藝需求更換氣體類型及轉化系數，滿量程可在原始值的 0.3～1.1 倍范圍內靈活調整，無需更換硬件即可適配多種氣體和工況。

軟啟動與延遲控制

支持軟啟動功能，可按設定斜率平滑改變流量設定值，避免氣體沖擊；延遲時間可精確設定至毫秒級，保障工藝過渡的精準可控。

累積流量統計

實時記錄并輸出通過 MFC/MFM 的氣體累積流量（單位：SCCM），便于工藝管控與追溯。

智能報警系統

內置傳感器警告、EEPROM 錯誤、控制閥錯誤、溫度報警等多重保護機制。LED 指示燈直觀顯示運行狀態：綠色常亮為正常，綠色閃爍為自動調零中，紅色閃爍為警告，紅色常亮為錯誤。

調零功能

用戶可通過軟件命令或物理調零按鈕修正零漂，確保長期穩定的測量精度。

精密制造工藝

CS200A/B/C/D 型產品在 100 級凈化間內組裝，1000 級凈化環境下標定及包裝，每臺出廠前均經過 24 小時烤機與兩次精度檢查，從源頭保障產品可靠性。

CS200C 型采用金屬密封，表面 Cr/Fe 比例 ≥ 2.0，CrO 厚度 ≥ 20 埃，表面粗糙度達 10μ inch Ra，適用于超高潔凈度及強腐蝕性氣體工況。

豐富的接口選型

CS200A 系列提供多種進出氣接頭形式，滿足不同管路標準：

• 雙卡套：φ3、φ6、φ10、1/8"、1/4"、3/8"

• VCR 1/4" 陽接頭 / VCO 1/4" 陽接頭

• A 型、C 型（IGS）、W 型（IGS）密封接頭

• 軟管接頭：φ4、φ5、φ6

電氣接頭支持 D 型 9 針（SEMI 標準）/ 15 針、DeviceNet、ProfiBus、EtherCAT 等多種標準，覆蓋主流工業自動化平臺。

質保承諾

華丞電子為 CS200 系列產品提供自購買日起 12 個月質量保修，覆蓋材料與工藝瑕疵。保修期內免費維修，售后響應及時，為您的生產穩定運行保駕護航。

適用行業

• 半導體與集成電路制造（CVD、刻蝕、濺射、離子注入等工藝）

• 新能源（光伏 PECVD、鋰電極片涂布等）

• 化工與石油工業

• 醫藥與生命科學

• 真空鍍膜與光纖制造

• 科研實驗室與分析儀器

如需了解 CS200A 系列產品詳細規格、選型建議或訂購信息，歡迎聯系米瑞凱科技專業團隊，為您提供從選型到應用的全程技術支持。