一、氣源預(yù)處理注意事項(xiàng)

1. 氣源必須干燥潔凈，壓縮空氣、氮?dú)庑杓友b精密過(guò)濾器，去除粉塵、油污、水汽。雜質(zhì)會(huì)堵塞質(zhì)量流量控制器 MFC 內(nèi)部微孔，造成流量失準(zhǔn)、損壞。

2. 腐蝕性氣體、還原性氣體不可直接通入普通不銹鋼管路，需更換 PTFE 內(nèi)襯、316L 不銹鋼或哈氏合金氣路，避免化學(xué)反應(yīng)析出雜質(zhì)。

3. 氣瓶輸出必須搭配穩(wěn)壓減壓閥，輸出壓力穩(wěn)定在設(shè)備適配區(qū)間，壓力忽高忽低會(huì)直接導(dǎo)致配比濃度持續(xù)波動(dòng)。

4. 高純氣體（5N/6N 半導(dǎo)體級(jí)）存放遠(yuǎn)離油污、潮濕環(huán)境，氣瓶閥門定期檢漏，防止空氣滲入降低氣體純度。

二、氣路管路安裝與密封注意事項(xiàng)

1. 管路優(yōu)先選用無(wú)縫不銹鋼管，彎管平緩無(wú)折死彎，減少氣體滯留死角；接頭統(tǒng)一采用雙卡套結(jié)構(gòu)，擰緊力度適中，過(guò)度用力會(huì)割裂管路造成滲漏。

2. 不同種類氣體管路建議分色區(qū)分，禁止混接；腐蝕性、易燃易爆氣體管路獨(dú)立布置，遠(yuǎn)離熱源、電路、電機(jī)火花源。

3. 全部管路安裝完成后必須整體檢漏，使用氦檢或皂液測(cè)試單點(diǎn)漏率，微量漏氣會(huì)持續(xù)稀釋混合氣，低濃度配比誤差會(huì)成倍放大。

4. 高低溫工況下配氣，管路需增加伴熱保溫，防止水汽、易凝組分液化，改變混合氣實(shí)際濃度。

三、配氣設(shè)備調(diào)試與參數(shù)設(shè)置注意事項(xiàng)

1. 開(kāi)機(jī)前先通入干燥惰性氣體吹掃管路 10–30 分鐘，排空管路內(nèi)空氣殘留，再啟動(dòng) MFC、壓力控制器等核心元件。

2. 設(shè)備預(yù)熱充足，常規(guī)配氣儀預(yù)熱 15 分鐘以上，高精度半導(dǎo)體配氣設(shè)備建議預(yù)熱 30 分鐘，待傳感器、算法穩(wěn)定后再設(shè)定配比參數(shù)。

3. 設(shè)置流量配比時(shí)，避免單路流量接近滿量程極限，建議控制在 20%–80% 量程區(qū)間，該區(qū)間 MFC 線性度最佳，配比誤差最小。

4. 多路氣體配比時(shí)，先通入大流量載氣，再緩慢通入微量組分氣體，防止微量組分瞬時(shí)濃度超標(biāo)；更改配比參數(shù)后需等待 3–5 分鐘氣流平衡再采集數(shù)據(jù)。

5. 定期校準(zhǔn)流量控制器，長(zhǎng)期使用會(huì)出現(xiàn)零點(diǎn)漂移，建議每 3–6 個(gè)月標(biāo)定一次，保證長(zhǎng)期配比重復(fù)性。

四、實(shí)驗(yàn)運(yùn)行過(guò)程操作注意事項(xiàng)

1. 運(yùn)行中禁止快速開(kāi)關(guān)氣瓶閥門，閥門啟閉緩慢，避免氣流沖擊造成 MFC 傳感器震蕩，產(chǎn)生短期濃度不穩(wěn)定。

2. 實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備壓力、流量、溫度數(shù)值，出現(xiàn)流量跳變、壓力持續(xù)下降立即停機(jī)，排查漏氣、堵塞問(wèn)題。

3. 若配比含可燃、有毒氣體，全程保持通風(fēng)櫥開(kāi)啟，尾氣統(tǒng)一收集處理，不得直接直排室內(nèi)。

4. 禁止在設(shè)備運(yùn)行時(shí)拆卸氣路接頭，拆卸前必須關(guān)閉氣源、排空管路內(nèi)混合氣體，防止有毒、可燃?xì)怏w外泄。

五、停機(jī)與日常維護(hù)注意事項(xiàng)

1. 實(shí)驗(yàn)結(jié)束先關(guān)閉組分氣瓶，持續(xù)通入干燥氮?dú)獯祾哒坠苈?，清除殘留腐蝕性、可燃?xì)怏w，再關(guān)閉載氣與設(shè)備電源。

2. 長(zhǎng)期停機(jī)需排空管路氣體，密封氣瓶閥門，清潔過(guò)濾器濾芯，存放環(huán)境保持干燥常溫。

3. 濾芯、密封墊圈、發(fā)泡頭等損耗件定期更換，老化密封件會(huì)逐步出現(xiàn)微漏，影響配比精度。