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更新時(shí)間:2026-04-13
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江麥智能 HB25 半導(dǎo)體冷熱測(cè)試儀是一款專為半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)的無(wú)液氮變溫測(cè)試設(shè)備,分 HB25-4(4 探針)、HB25-6(6 探針)兩大款,主打無(wú)液氮制冷、無(wú)噪聲無(wú)振動(dòng)、高精度控溫、體積超小的核心特點(diǎn),支持模塊化定制且可無(wú)縫對(duì)接各類光學(xué)儀器。設(shè)備可實(shí)現(xiàn)芯片、氣敏元器件等樣品在不同氣氛下的變溫電學(xué)、變溫光學(xué)測(cè)試及材料表征,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鋰電池、二維材料、LED/LCD 等行業(yè)的制造與研究,是半導(dǎo)體變溫測(cè)試的核心配套設(shè)備。
摒棄傳統(tǒng)液氮制冷方式,無(wú)需額外購(gòu)置液氮耗材,從根源降低測(cè)試成本與操作復(fù)雜度,同時(shí)避免液氮使用的安全隱患,日常測(cè)試更便捷、更經(jīng)濟(jì),適配實(shí)驗(yàn)室常態(tài)化變溫測(cè)試需求。
搭載 CL200 溫控系統(tǒng),溫控范圍 -35℃~120℃,控溫精度達(dá) ±0.25℃,分辨率 0.1℃,升溫速度可精確調(diào)節(jié);溫度穩(wěn)定無(wú)波動(dòng),有效避免溫漂導(dǎo)致的測(cè)試誤差,為半導(dǎo)體變溫電學(xué) / 光學(xué)測(cè)試提供精準(zhǔn)溫區(qū)支撐。
設(shè)備運(yùn)行全程無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng),搭配 φ3mm 通光口、φ35mm 樣品觀察窗,無(wú)機(jī)械干擾影響,可適配光譜儀、顯微鏡等精密光學(xué)儀器的聯(lián)合作業(yè),滿足半導(dǎo)體變溫光學(xué)測(cè)試的高要求。
腔體外尺寸僅110mm×100mm×38mm,體積超小、重量輕,φ35mm 樣品臺(tái)設(shè)計(jì),占地空間極小,實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)、光學(xué)測(cè)試臺(tái)、電鏡掃描配套工位等狹小空間均可靈活放置,不占用寶貴實(shí)驗(yàn)空間。
標(biāo)配 4 探針、6 探針兩種配置,4 探針滿足常規(guī)半導(dǎo)體變溫電學(xué)測(cè)試,6 探針適配多觸點(diǎn)精細(xì)化電學(xué)表征,無(wú)需額外改裝,一臺(tái)設(shè)備覆蓋半導(dǎo)體不同復(fù)雜度的電學(xué)測(cè)試需求。
探針組件分真空型同軸(V2)、三軸(V3)接口夾具,三軸款抗干擾性強(qiáng),適配半導(dǎo)體高精度測(cè)試;鍍金探針規(guī)格覆蓋 1μm-200μm 全檔位,可根據(jù)芯片、微元器件尺寸精準(zhǔn)選配,滿足微小型半導(dǎo)體樣品的精細(xì)化觸點(diǎn)測(cè)試。
整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì),腔體材質(zhì)(AL6061 可定制 SUS304)、進(jìn)氣口規(guī)格均可按需定制;標(biāo)配 BNC 電信采集接口、KF16 抽氣口,可適配常規(guī)、真空等多種氣氛測(cè)試,同時(shí)支持與各類顯微鏡、光譜儀聯(lián)調(diào),拓展測(cè)試場(chǎng)景與功能。
HB25 半導(dǎo)體冷熱測(cè)試臺(tái)核心分 HB25-4(4 探針)、HB25-6(6 探針) 兩款,基礎(chǔ)主體配置一致,僅探針數(shù)量不同,全系列配件均支持按需選配,適配半導(dǎo)體個(gè)性化變溫測(cè)試需求,核心配置如下:
1. 基礎(chǔ)主體:默認(rèn) AL6061 腔體(可定制 SUS304),氟膠圈密封,KF16 抽氣口、標(biāo)配 BNC 電信采集接口,6mm 進(jìn)氣口(可定制),φ35mm 樣品臺(tái) / 觀察窗、φ3mm 通光口,外尺寸 110mm×100mm×38mm;
2. 探針與線纜:V2 同軸真空夾具、V3 三軸抗干擾夾具二選一,鍍金探針 1-200μm 全規(guī)格可選,信號(hào)線纜分 R1 單頭甩空線、R2 雙頭線;
3. 溫控與散熱:標(biāo)配 CL200 溫控系統(tǒng)(-35℃~120℃,±0.25℃精度),水冷機(jī)為必須配件,專為半導(dǎo)體片降溫,防止測(cè)試中芯片燒壞;
4. 真空系統(tǒng):MP 飛躍機(jī)械泵(1×10?1Pa)、TG KYKY 分子泵組(5×10??Pa)、TP 萊寶分子泵組(5×10??Pa,配 PTR90 復(fù)合真空計(jì))三檔可選,萊寶款需搭配不銹鋼腔體;
5. 光學(xué)觀測(cè)配件:PM 體式顯微鏡、CM 200 萬(wàn)像素 CCD、DP 21 寸戴爾顯示器、SJ 視頻顯微鏡(100 萬(wàn)像素 + 10 寸屏)按需選配,適配變溫光學(xué)測(cè)試。
無(wú)需液氮制冷耗材,不僅降低長(zhǎng)期測(cè)試成本,還簡(jiǎn)化操作流程,解決了液氮存儲(chǔ)、運(yùn)輸、加注的繁瑣問(wèn)題,讓半導(dǎo)體變溫測(cè)試更高效、更安全。
運(yùn)行無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng)的特性,搭配專屬通光口與觀察窗,實(shí)現(xiàn)變溫電學(xué)測(cè)試與變溫光學(xué)測(cè)試的一體化,無(wú)需更換設(shè)備即可完成半導(dǎo)體樣品的多維度表征,提升測(cè)試效率。
水冷機(jī)為必選配置,專為半導(dǎo)體片精準(zhǔn)降溫,從硬件上避免測(cè)試過(guò)程中因溫度過(guò)高導(dǎo)致的芯片燒壞問(wèn)題,保障貴重半導(dǎo)體樣品的測(cè)試安全。
超小體積設(shè)計(jì)節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,模塊化定制與豐富的配件選配,可根據(jù)半導(dǎo)體研發(fā)、檢測(cè)的不同需求靈活調(diào)整配置,兼顧科研實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)檢測(cè)的多元場(chǎng)景。
可直接與顯微鏡、光譜儀等各類光學(xué)儀器配套使用,無(wú)需額外轉(zhuǎn)接配件,實(shí)現(xiàn)設(shè)備間的無(wú)縫聯(lián)調(diào),滿足半導(dǎo)體研發(fā)中多儀器協(xié)同測(cè)試的需求。
HB25 半導(dǎo)體冷熱測(cè)試臺(tái)憑借無(wú)液氮制冷、高精度控溫、靜音無(wú)振動(dòng)、兼容光學(xué)儀器的核心優(yōu)勢(shì),成為半導(dǎo)體領(lǐng)域變溫測(cè)試的優(yōu)選設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片變溫電學(xué) / 光學(xué)測(cè)試、二維材料變溫表征、鋰電池溫敏特性檢測(cè)、LED/LCD 變溫性能測(cè)試、氣敏元器件溫區(qū)測(cè)試、太陽(yáng)能電池變溫品控、物理材料溫敏研究等領(lǐng)域,既適配高校、研究所的半導(dǎo)體研發(fā)測(cè)試,也能滿足半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)線的精密變溫檢測(cè)需求,為半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)與質(zhì)量把控提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的測(cè)試數(shù)據(jù)支撐。
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